タイプ 8715 は 2020/10/21 よりご利用できません。
この後継となるタイプは以下になります（改善のため、若干異なる場合があります）： 8743
お気軽にお問い合わせください。お客様のニーズに合った改訂版記事についてご相談させていただきます。
タイプ 8715 - 気体用マスフローコントローラ (Mass Flow Controller)
製品概要
タイプ8715は、媒体分離式センサが必要な侵食性気体の質量流量を制御するための機器です。センサから送信された実測値は、デジタル制御電子回路内でプリセットされた基準値と比較されます; 制御偏差がある場合は、PI制御アルゴリズムによって比例バルブへ送信される制御変数に修正されます。そのため、質量流量は設備内の圧力変動またはその他の変動とは無関係に固定値で保持されるか、またはプリセットされたプロファイルで追従することができます。 タイプ8715は、ユーザが切り替え可能な2種類の気体上で校正することができます。直動式比例バルブは、アクチュエータとして機器の高応答感度と良好な制御特性を確保します。上位機器との通信はデジタルで行われるため、さらにデジタル／アナログ変換を行う必要はありません。
- 5 mlN/min～15 lN/minの定格流量向けの極小テクノロジ搭載バイパス機器
- 侵食性気体に適合
- コンパクトバージョンとデジタル通信
製品選定の際には、製品データシートを参照し、技術仕様、寸法、製品写真、注記等をご確認ください。
ご不明な点がございましたら「info.jpn@burkert.com」にお問い合わせください。
アプリケーション＆ツール
ダウンロード
データシート
説明 |
ファイルサイズ |
言語 / 国 |
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Data sheet Type 8715 | Mass flow controller for gases | 569.7 kB | EN / EU |
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Datenblatt Typ 8715 | Massendurchflussregler für Gase | 573.8 kB | DE / DE |
ユーザーマニュアル
説明 |
ファイルサイズ |
言語 / 国 |
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Additional manual MFC | Digital communication (RS 232 / RS 485) | 1.9 MB | EN / EU |
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Operating Instructions Type 8700 8701 8703 8705 8710 8711 8713 8715 | MFM / MFC | 2.3 MB | EN / EU |
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Bedienungsanleitung Typ 8700 8701 8703 8705 8710 8711 8713 8715 | MFM / MFC | 2.4 MB | DE / EU |
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Manuel d'utilisation Type 8700 8701 8703 8705 8710 8711 8713 8715 | MFM / MFC | 2.4 MB | FR / EU |
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Manuel supplémentaire MFC | Communication numérique (RS 232/ RS 485) | 1.9 MB | FR / FR |
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Zusatzanleitung MFC | Digitale Kommunikation (RS 232 / RS 485) | 1.8 MB | DE / DE |
ソフトウェア
説明 |
ファイルサイズ |
言語 / 国 |
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USB-Driver Win 7 - Win 11 A.06 | 4.2 MB | ML |
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Initiation Files EDS GSD A.05 | 204.4 kB | ML |
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MFC_Driver_DLL (A.16) A.16 | 6.1 MB | ML |
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MassFlowCommunicator A.32 | 27 MB | ML |
宣言
説明 |
ファイルサイズ |
言語 / 国 |
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EU-DoC|EU Declaration | 736.6 kB | ML |
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EU-DoC|EU Material Compliance | 40.2 kB | EN |
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EU-DoC|EU Material Compliance | 41.7 kB | FR |
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EU-DoC|EU Material Compliance | 40.9 kB | DE |