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ピエゾ抵抗センサ

ピエゾ抵抗センサの原理図

ピエゾ抵抗センサは、保護目的から作動油とともに流されます。作動油はステンレススチール製ダイヤフラムで分離されます。外部からの圧力によりダイヤフラムに歪みが生じて、ピエゾ抵抗センサの周囲の水圧が変化します。センサは、圧力比例信号を4~20 mAの出力信号に変換して発信します。この計測方法は低圧力の検知に適しており、高い過負荷係数を実現します。

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