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バイパス流路の直接計測

CMOSens技術を使ったバイパスセンサの機能図(バイパス流路からの断面図)

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バイパス流路で直接、質量流量を計測します。主流の層流素子により圧力がわずかに低下するため、流量の一部がバイパス流路を流れます。バイパスに設置されたセンサが温度差の計測から直接質量流量を出します。この計測は、特殊な形状の流路で行われます。壁面の一箇所にSiチップが埋め込まれ、ダイヤフラムが露出しています。CMOSens ®技術を生かし、抵抗発熱体を2つの温度センサ(上流と下流)とこのダイヤフラムに接合します。抵抗発熱体に一定の電圧を供給すると、温度センサの電圧差からチップを通過して流路を流れるガスの質量流量の測定値が求められます。

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