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バイパスCMOSセンサ

計測はバイパス流路で直接行われます。

メインフローの層流エレメントにより圧力が若干低下し、全流量の一部がバイパス流路に流れ込みます。そこに設置されたセンサが、温度差を計測することによって、質量流量を算出します。計測が行われる流路は特殊な形状をしており、壁の一部にシリコンチップを含み、ダイヤフラムを露出しています。CMOSens ®技術が活用され、上流と下流に取り付けられた2つの温度センサに加え、抵抗発熱体がダイヤフラムに接続されています。抵抗発熱体に一定の電圧が供給されれば、温度センサの電圧差が流路を流れチップを通過する気体の質量流量の計測値となります。

CMOSens技術を使ったバイパスセンサの機能図(バイパス流路からの断面図)

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