比例バルブ（サーボ制御式）

サーボ制御式比例バルブ

下図はサーボ制御式比例バルブの原理を示しています。閉鎖時は、流入部の流体に圧力p1がかかり、ソレノイドコア、つまりプランジャ(3)が外れているため、パイロットシート(4)が流体に押されます。そこにピストンバネの力が加わってピストン(2)に作用し、メインシート(5)が閉じます。流量調節弁(6)から制御チャンバ(1)に流体が入り、圧力pxをかけて上からダイヤフラム、またはガスケットを押します。

流量調節弁、パイロットシート、メインステージの面積比が状況に応じて決まる場合、シートがある特定の開き方をすると、ピストンが均衡状態になります。比例パイロット制御では、理論上、ピストンは均衡となる距離を取り、プランジャの継続的な軸方向運動に正確に従います。