ピエゾ抵抗センサ
ピエゾ抵抗センサの原理図
ピエゾ抵抗センサは、保護目的から作動油とともに流されます。作動油はステンレススチール製ダイヤフラムで分離されます。外部からの圧力によりダイヤフラムに歪みが生じて、ピエゾ抵抗センサの周囲の水圧が変化します。センサは、圧力比例信号を4～20 mAの出力信号に変換して発信します。この計測方法は低圧力の検知に適しており、高い過負荷係数を実現します。
ピエゾ抵抗センサの原理図
ピエゾ抵抗センサは、保護目的から作動油とともに流されます。作動油はステンレススチール製ダイヤフラムで分離されます。外部からの圧力によりダイヤフラムに歪みが生じて、ピエゾ抵抗センサの周囲の水圧が変化します。センサは、圧力比例信号を4～20 mAの出力信号に変換して発信します。この計測方法は低圧力の検知に適しており、高い過負荷係数を実現します。