サーボ制御ピストン付きソレノイド
この原理もプランジャ型のソレノイドをパイロットバルブとして用いますが、メインバルブ機能はピストンの働きによるものです。このバルブ（例：Types 5404、6221）が機能するのは、流体が供給源Pからピストンの制御穴、あるいはメインバルブのバイパス流路を通って流れることができるからです。パイロットバルブの電流を切ってピストンの上のチャンバを閉鎖すると、そこに流体システム圧力が集まり、ピストンは同時にバルブシールを形成しながら、メインバルブのバルブシートを閉鎖します。
