CVDコーティングシステムは、経済的に機能するために最大の性能を発揮する必要があります。これには、効果的な冷却が決定的な役割を果たします。なぜなら、CVDコーティングは基板上にのみ成膜されるべきで、リアクター内は成膜すべきではありません。
全体として、コーティングシステムは可能な限りコンパクトにする必要があります。そのため、従来のソリューションでは、スペースが限られていたため、コンポーネントの交換が困難でした。多くの場合、実際の摩耗部分にアクセスするには、サブシステム全体を面倒な方法で解体する必要があります。また、交換部品の調達には非常に時間がかかります。
コーティングシステムのアーマチャコンセプトは、非常に要求が厳しく、複雑です。エンジニアリングに始まり、相互作用するコンポーネントの選択とテスト、購入、設置、および適切な操作まで。
従来の冷却システムの構造は、多数のコンポーネントで構成されており、多くのスペースを必要とします。ただし、特にコストのかかるクリーンルームで稼働するシステムでは、コーティングシステムのサイズをできるだけ小さくする必要があります。
個々のコンポーネントとその配管を使用する場合、多くのシールポイントがあります。これにより、漏れのリスクが高まる可能性があります。漏れと大規模なメンテナンスにより、ダウンタイムが長くなり、CVDコーティングシステムの生産量が減少してしまいます。
CVDコーティングシステムでのスムーズな製造プロセスが不可欠です。特殊部品を使用すると、メンテナンスの際に高い物流コストがかかります。スペアパーツの供給にも時間がかかり、生産のダウンタイムにつながる可能性があります。
汎用性が高く、メンテナンス性に優れたシステムソリューションで、お客様の冷却タスクをサポート
Bürkertは、流体技術の経験から、お客様のガス分離システムのための最適化された個別の冷却ソリューションをサポートします。設置スペースに最適化された、溶接または機械加工されたブロックソリューションと高品質のステンレススチール製フィッティングの組み合わせにより、お客様の要件に正確に適合したコンパクトな流体ソリューションを実現します。実績と信頼のあるBürkertの技術は、非常に長い耐用年数を特徴としています。これにより、プロセスの信頼性が向上し、メンテナンスはほとんど不要になります。
省スペース、溶接または機械加工されたブロックソリューション
Bürkertシステムソリューションの利点:
高品質で耐久性のあるBürkertのコンポーネントにより、お客様のシステムはより信頼性の高いものとなります。故障や複雑なメンテナンスは過去のものとなります。
Bürkertアセンブリは、長いサプライチェーンに依存することなく、自社の工場で製造されています。在庫数が多いため、緊急時には直接お届けします。プラグアンドプレイソリューションにより、迅速な設置が可能になり、ダウンタイムが最小限に抑えられます。
Bürkertシステムソリューションでは、お客様はもはや個々のコンポーネントを組み立てる必要はありません。これにより、冷却システムの設置時間が短縮され、コーティングシステム全体の製造コストが削減されます。
個数
手動ソリューションとBürkertソリューションの比較:
コンポーネントのコストが200ユーロ、設置時間が50分で、組み立てコストが100ユーロかかるため、手動ソリューションの合計コストは300ユーロになります。
一方、Bürkertソリューションを使用すると、設置時間が20分に短縮されます。これは、40ユーロの設置コストに相当します。これにより、総費用は240ユーロとなります。アイテムの数が増えると、20%の節約は、全体的な設置コストに多大な影響を及ぼします。
システムのコンパクトな設計により、個々の設計に対応できるスペースが確保され、設置スペースはほとんど必要ありません。特に、高価なクリーンルームで運用されるシステムでは、省スペース設計が重要です。これにより、1つの部屋により多くの機械を置くことができるようになり、新しい建物の場合は部屋を小さく設計することができます。
クリーンルーム内のスペース要件:左が従来のソリューション、右がBürkertソリューション
完全に溶接されたBürkertシステムでは、漏れが発生するインターフェースはありません。これにより、大規模なメンテナンス作業が不要になり、CVDコーティングシステムが確実に稼働します。
Bürkert温度制御システムは、お客様のCVDコーティングシステムに、プラグアンドプレイにより短時間で簡単に取付けることができます。メンテナンスの際には、コンポーネントをすばやく交換できます。
お客様のシステム構造に応じて、モジュラーアーマチャシステムと必要な周辺機器を要件に完全に適合させます。

ダウンタイムを最小限に抑える個別のアーマチャブロック
要件に応じて、Bürkertソリューションは、中央流体ブロックまたは複数のアーマチャブロックに多数のコンポーネントを統合します。当社のシステムソリューションは、お客様のスペース要件、必要な機能範囲、メンテナンスコンセプト、および指定されたデジタル通信インフラストラクチャに適合します。
Bürkertシステムソリューションをお客様の要件に100%適合させます
従来のパイプソリューションとBürkertシステムソリューションの設置時間の比較
この計算例では、コンポーネントサプライヤでBürkertソリューションを使用してどれだけの設置時間を節約できるかを示しています。「時は金なり」という言葉があるように、設置時間の短縮はお客様にとって大きなコスト削減につながります。
従来のソリューションとBürkertソリューション

トリプルブロックとしての従来のソリューションパイプフィッティングからの単一部品の組み立て、つまり:
4つのティー、
2つのパイプベンド、
12個のダブルニップル、
3つのインラインバルブ、
8つのねじ接続の取り付け、コンポーネントの位置合わせ
算出根拠:
液体シールコニカルスレッドの場合は48分、 24スレッドの場合はスレッド接続ごとに2分、 取り付けブラケットの4本のねじで8分
Bürkertソリューション
バルブブロックの設置時間、以下のもので構成されています: 3つのバルブハウジング、 8つのステンレス鋼ねじ接続、 2つのブラインドプラグの取付
算出根拠:
3つのバルブハウジングで6分、 8つのステンレス鋼ねじ接続で8分、 2つのブラインドプラグの取付に4分
設置時間は、1台あたり約38分短縮されます。
そのため、設置時間の3分の2が節約できます。
トリプルブロックとしての従来のソリューションとBürkertソリューション:設置時間は、1台あたり約38分短縮されます。そのため、設置時間の3分の2が節約できます。