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CVDコーティングシステム用の省スペースでメンテナンスフリーの温度制御ソリューション

CVDコーティングシステムの開発と製造は複雑であり、特別なノウハウが必要です。これは特に冷却に当てはまります。システムの冷却システムのセンサーとアクチュエータの相互作用は非常に重要です。豊富なコンポーネントの選択と長年の経験により、Bürkertはお客様の要件に合わせて個別に調整された冷却ソリューションを提供します。当社は、設計からコミッショニング、メンテナンスに至るまで、有能なアーマチャパートナーとしてお客様のそばでサポートいたします。

CVDコーティングシステムの限られた空間容量と困難な機械メンテナンス

CVDコーティングシステムは、経済的に機能するために最大の性能を発揮する必要があります。これには、効果的な冷却が決定的な役割を果たします。なぜなら、CVDコーティングは基板上にのみ成膜されるべきで、リアクター内は成膜すべきではありません。
全体として、コーティングシステムは可能な限りコンパクトにする必要があります。そのため、従来のソリューションでは、スペースが限られていたため、コンポーネントの交換が困難でした。多くの場合、実際の摩耗部分にアクセスするには、サブシステム全体を面倒な方法で解体する必要があります。また、交換部品の調達には非常に時間がかかります。


単結晶シリコンの製造

単結晶シリコン

カットウエハー

クーラント

リアクター

従来のソリューション

リアクター

熱交換器

汎用性が高く、メンテナンス性に優れたシステムソリューションで、お客様の冷却タスクをサポート

Bürkertは、流体技術の経験から、お客様のガス分離システムのための最適化された個別の冷却ソリューションをサポートします。設置スペースに最適化された、溶接または機械加工されたブロックソリューションと高品質のステンレススチール製フィッティングの組み合わせにより、お客様の要件に正確に適合したコンパクトな流体ソリューションを実現します。実績と信頼のあるBürkertの技術は、非常に長い耐用年数を特徴としています。これにより、プロセスの信頼性が向上し、メンテナンスはほとんど不要になります。

省スペース、溶接または機械加工されたブロックソリューション

Grafische Darstellung von verschiedenen einzelnen Fluidik-Komponenten auf der linken Seite; in der Mitte Block mit drei Ventilen, Symbol Herz mit Kreispfeil; rechts vier übereinander angeordnete Varianten von Blöcken mit anderen Ventiltypen; Pfeile

Bürkertシステムソリューションの利点:

 

ダウンタイムを最小限に抑える個別のアーマチャブロック

要件に応じて、Bürkertソリューションは、中央流体ブロックまたは複数のアーマチャブロックに多数のコンポーネントを統合します。当社のシステムソリューションは、お客様のスペース要件、必要な機能範囲、メンテナンスコンセプト、および指定されたデジタル通信インフラストラクチャに適合します。

Bürkertシステムソリューションをお客様の要件に100%適合させます

Grafische Darstellung von verschiedenen einzelnen Fluidik-Komponenten auf der linken Seite, Pfeile; rechts komplexer Block mit Ventilen und Sensoren, Verrohrung

従来のパイプソリューションとBürkertシステムソリューションの設置時間の比較

この計算例では、コンポーネントサプライヤでBürkertソリューションを使用してどれだけの設置時間を節約できるかを示しています。「時は金なり」という言葉があるように、設置時間の短縮はお客様にとって大きなコスト削減につながります。

従来のソリューションとBürkertソリューション

トリプルブロックとしての従来のソリューションパイプフィッティングからの単一部品の組み立て、つまり: 4つのティー、 2つのパイプベンド、 12個のダブルニップル、 3つのインラインバルブ、 8つのねじ接続の取り付け、コンポーネントの位置合わせ
算出根拠:
液体シールコニカルスレッドの場合は48分、 24スレッドの場合はスレッド接続ごとに2分、 取り付けブラケットの4本のねじで8分
Bürkertソリューション
バルブブロックの設置時間、以下のもので構成されています: 3つのバルブハウジング、 8つのステンレス鋼ねじ接続、 2つのブラインドプラグの取付
算出根拠:
3つのバルブハウジングで6分、 8つのステンレス鋼ねじ接続で8分、 2つのブラインドプラグの取付に4分
設置時間は、1台あたり約38分短縮されます。
そのため、設置時間の3分の2が節約できます。

トリプルブロックとしての従来のソリューションとBürkertソリューション:設置時間は、1台あたり約38分短縮されます。そのため、設置時間の3分の2が節約できます。