腐食性ガスおよびガス混合物用の毛細管センサーを備えたサーマル質量流量コントローラおよび質量流量メータ
当社のタイプ 8743 およびタイプ 8744 質量流量コントローラおよび質量流量メータが、腐食性ガスおよびガス混合物に特に適している理由をご覧ください。
タイプ 8743およびタイプ 8744は、比例バルブを備えた質量流量コントローラ (MFC) および質量流量メータ (MFM) のいずれにもご利用いただけます。
どちらのタイプも、公称流量範囲 (QNom) 0.01 lN/min〜100 lN/min (窒素) で316L/1.4404のステンレススチール製キャピラリーセンサーを採用しています。
間接的な測定原理により腐食性ガスに最適
キャピラリーセンサーは、間接的に測定を行うセンサーです。センサーエレメント自体は、ガスと直接接触しません。これにより、タイプ 8743およびタイプ 8744は、腐食性ガスに対する高い耐薬品性があります。
実ガス較正は不要：柔軟かつ多彩な用途に使用可能
センサーチャンネル (=キャピラリー) でのラミナーフローによって、センサー特性 (流量に対する出力信号) はほぼリニアとなっています。このため、較正ガスと作動ガスの間の換算係数を使用できます。
本機はアンモニア (NH3) や二酸化硫黄 (SO2) などの混合ガスや特殊ガスにも使用でき、較正は窒素で行われます。
ガス換算係数の簡単な調整
工場出荷時の調整において、顧客の要望に基づくガス換算係数を設定できます。これにより、コミッショニング時の手間を省略できます。ただし、ガス変換係数は、Bürkertコミュニケーターまたはシステムコントローラを介して現場でいつでも変更できます。
タイプ 8743およびタイプ 8744 を選ぶべき理由 — メリットの一覧
✓ 高い耐薬品性
✓ 幅広いアプリケーション領域：多くのガスおよび混合ガスに適合
✓ 装置を分解することなく、変換係数を通じてプロセスガスを変更可能
Mass flow controller (MFC)/mass flow meter (MFM) for gases
タイプ 8743
- Nominal flow range from 0.01 I/min to 100 I/min (ref. nitrogen)
- High accuracy in measurement and repeatability
- Suitable for aggressive gases
- User-friendly gas conversion
- Easy device exchange via configuration memory
Mass flow controller (MFC)/mass flow meter (MFM) for gases
タイプ 8744
- Nominal flow range from 0.01 I/min to 100 I/min (ref. nitrogen)
- High accuracy in measurement and repeatability
- Suitable for aggressive gases
- User-friendly gas conversion
- Simple device exchange thanks to smart configuration management